、售后服務(wù)等環(huán)節(jié)提供專業(yè)的技術(shù)支持。
特色產(chǎn)品
國機密封密封產(chǎn)品具有優(yōu)異的耐等離子 、耐高溫
、耐酸堿腐蝕等特點,廣泛應(yīng)用于芯片制造的三大制程
。結(jié)合
刻蝕 、
沉積、化學(xué)機械拋光 、熱處理
、清洗等工藝的不同特性,提供相應(yīng)的密封解決方案
。
針對刻蝕、沉積等對等離子體析出和耐化學(xué)腐蝕有要求的工藝,推薦使用
70T01、70T02
、75W01等型號產(chǎn)品。針對沉積
、氧化
、熱處理等對耐溫要求高的工藝,推薦使用70T01
、5B01等型號產(chǎn)品
。其他濕制程工藝推薦使用
70B01等型號產(chǎn)品。(詳見產(chǎn)品宣傳手冊)
